目前,藍(lán)寶石雖然穩(wěn)坐襯底材料的龍頭地位,但隨著產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈,基于藍(lán)寶石襯底的技術(shù)發(fā)展變緩,再加上其成本高昂、專利壁壘等問題,眾多專家與工程師開始尋求性價(jià)比更高的解決方案:不同的襯底材料。其中,硅襯底被業(yè)界寄予了很高的厚望,不少大廠也在躍躍欲試,但仍然鮮有實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展,并且在去年曾有媒體報(bào)道指出,硅襯底將“胎死腹中”。
“在中村的研究小組里面的工作經(jīng)歷和研究對(duì)于自己今后在產(chǎn)業(yè)界的工作非常有幫助,這些研究經(jīng)驗(yàn)是實(shí)際的、工作中用得到的技術(shù)。”談到當(dāng)初在中村研究小組的經(jīng)歷,陳振博士如是說。
離開中村的實(shí)驗(yàn)室之后,陳振博士加入了美國(guó)一家LED公司,并在該公司制作了硅襯底上的原型LED器件。“當(dāng)我們看到第一個(gè)原型器件亮度就達(dá)到了藍(lán)寶石的50%,我們判斷硅襯底這條技術(shù)路線是可行的。后來我了解到中國(guó)的晶能光電也在做硅襯底LED器件,且早在09年就已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化。作為一名技術(shù)人員,我深刻地知道在硅襯底上長(zhǎng)LED材料的困難,而中國(guó)卻誕生了這樣了不起的技術(shù),并超前全球其他廠家,再加上對(duì)LED技術(shù)的一種追求,我加入了晶能。”
下一個(gè)被爭(zhēng)搶的技術(shù)
從目前襯底材料的使用來看,除了Cree采用碳化硅襯底、晶能采用硅襯底(Si),世界上絕大多數(shù)的芯片制造商都采用藍(lán)寶石襯底。幾家國(guó)際大廠也在大力跟進(jìn)硅襯底大功率LED芯片技術(shù),如東芝購(gòu)買了普瑞的技術(shù)后切入硅襯底,三星宣布明年的技術(shù)路線和產(chǎn)品是硅襯底的芯片。種種市場(chǎng)跡象和技術(shù)趨勢(shì)表明,硅襯底會(huì)是LED領(lǐng)域下一個(gè)被爭(zhēng)搶的技術(shù)。
談到硅襯底如何能在藍(lán)寶石襯底壟斷半壁江山的情況下另開辟出一片新天地,陳振博士非常熟稔地向記者介紹硅的優(yōu)勢(shì)。他表示,首先是襯底材料本身的優(yōu)勢(shì)。硅襯底材料具有低成本、大尺寸、可導(dǎo)電的特點(diǎn)。硅襯底比藍(lán)寶石更加適合于大尺寸外延。藍(lán)寶石襯底技術(shù)從2寸轉(zhuǎn)向6寸、8寸時(shí)技術(shù)壁壘非常高,生產(chǎn)成本不降反升。而硅襯底卻恰恰相反,可以在大尺寸上制作,從2寸到6寸,甚至更大尺寸,從而避免邊緣效應(yīng),大幅度提高良率。硅集成電路產(chǎn)業(yè)不斷提高襯底尺寸,從8寸到10寸,乃至12寸也是這個(gè)原因。另外,器件結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)。硅襯底LED是垂直結(jié)構(gòu),單面發(fā)光,可使硅襯底LED的光斑好,方向容易管控,電流擴(kuò)散快,適合大電流驅(qū)動(dòng)。良好的導(dǎo)熱性能可以使制造的LED器件的散熱更好。
對(duì)于小功率硅襯底LED芯片,封裝時(shí)可以少打一根金屬線,電極所占發(fā)光面積更小、可靠性更高,所以其在數(shù)碼、顯示領(lǐng)域等需要密集排列的小芯片市場(chǎng)具有比較大的優(yōu)勢(shì),產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入大眾汽車等品牌,用于儀表盤的背光。
對(duì)于大功率硅襯底LED芯片,單面出光容易控制方向,做出的應(yīng)用產(chǎn)品射程遠(yuǎn)、光品質(zhì)好,極為適合需要高品質(zhì)出光的高端照明領(lǐng)域應(yīng)用,在汽車大燈、手機(jī)閃光燈、電視背光、高端便攜式照明、高端室內(nèi)照明等大功率LED應(yīng)用領(lǐng)域具有性能優(yōu)勢(shì)。由于硅襯底LED芯片采用剝離方法徹底消除了發(fā)光薄膜和襯底之間的應(yīng)力,加之垂直結(jié)構(gòu)電流擴(kuò)散快,單位面積承載電流的能力強(qiáng),適用于大功率LED的應(yīng)用。
緩解應(yīng)力降低位錯(cuò)密度
硅襯底和其他兩種襯底,碳化硅和藍(lán)寶石相比,最大的技術(shù)難點(diǎn)是晶格失配和熱失配。“但這也正是在硅襯底上制作GaNLED對(duì)一個(gè)技術(shù)人員的吸引力和魅力所在。”陳振博士笑著說。
硅和氮化鎵的晶格失配最大,是碳化硅的幾倍。大的晶格失配會(huì)導(dǎo)致氮化鎵材料中出現(xiàn)較高的位錯(cuò)密度,也正是這個(gè)原因使得人們?cè)诤荛L(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)認(rèn)為硅襯底是一條走不通的技術(shù)路線。
另外,硅襯底和氮化鎵之間有很大的熱失配,這個(gè)問題導(dǎo)致在高溫生長(zhǎng)時(shí)兩者達(dá)到一定的匹配,可是降到室溫后,由于兩者的熱膨脹系數(shù)差異很大,會(huì)導(dǎo)致龜裂等問題的產(chǎn)生。