中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司,致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。
中微公司主要擁有五類設(shè)備產(chǎn)品,分別是CCP電容性刻蝕機、ICP電感性刻蝕機、深硅刻蝕機、MOCVD、薄膜沉積設(shè)備、VOC設(shè)備。
在刻蝕設(shè)備業(yè)務(wù)的帶動下,2023年中微公司業(yè)績創(chuàng)歷史新高,公司實現(xiàn)營業(yè)收入62.64億元,同比增長32.15%;實現(xiàn)歸母凈利潤17.86億元,同比增長52.67%;公司總資產(chǎn)約215.26億元,較報告期初增長7.44%。報告期內(nèi),中微公司新簽設(shè)備訂單83.60億元,同比增長32.30%,其中刻蝕設(shè)備新增訂單約69.5億元,同比增長約60.1%。
報告期內(nèi),中微公司的刻蝕設(shè)備業(yè)務(wù)實現(xiàn)營收47.03億元,同比增長49.43%。中微公司表示,其刻蝕設(shè)備技術(shù)已達到5nm及以下,設(shè)備具備了更先進點的工藝水平,設(shè)備收到了多家客戶的批量訂單,市場占有率持續(xù)提升。
MOCVD設(shè)備營收則達到了4.62億元,同比下降約33.95%。中微公司表示,公司的MOCVD設(shè)備在Mini LED等氮化鎵基設(shè)備領(lǐng)域市場占有率較大份額,此外公司還在繼續(xù)開發(fā)用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro LED器件制造的MOCVD設(shè)備。報告期內(nèi),受終端市場波動影響,2023年MOCVD設(shè)備訂單同比下降約72.2%。
目前,在LED領(lǐng)域,中微公司的MOCVD設(shè)備包括了用于LED藍光照明的PRISMO A7、用于深紫外LED的PRISMO HiT3、用于MiniLED顯示的PRISMO UniMax等產(chǎn)品。其中 PRISMO UniMax 產(chǎn)品自2021年6月正式發(fā)布以來,憑借高產(chǎn)量、高波長均勻性、高良率等優(yōu)點,受到下游客戶的廣泛認(rèn)可。
而針對Micro LED應(yīng)用的MOCVD設(shè)備目前開發(fā)順利,實驗室初步結(jié)果實現(xiàn)了優(yōu)良的波長均勻性能,并于報告期內(nèi)交運樣機至國內(nèi)領(lǐng)先客戶開展生產(chǎn)驗證。
在氮化鎵、碳化硅領(lǐng)域,中微公司于2022年推出了用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的 MOCVD設(shè)備PRISMO PD5,已交付至國內(nèi)外領(lǐng)先客戶,并取得了重復(fù)訂單。而碳化硅功率器件外延生產(chǎn)設(shè)備正在開發(fā)中,報告期內(nèi),中微公司取得較大的技術(shù)進展,實現(xiàn)了優(yōu)良的工藝結(jié)果,正與多家領(lǐng)先客戶開展商務(wù)洽談,預(yù)計2024年第一季度將開展客戶端生產(chǎn)驗證。
報告期內(nèi),中微公司繼續(xù)加大研發(fā)與產(chǎn)能建設(shè)與投入,其研發(fā)費用提升至12.62億元,同比增長35.89%。項目建設(shè)方面,其位于南昌的約 14萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已于2023年7月投入使用;在上海臨港的約18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地部分生產(chǎn)廠房及成品倉庫已經(jīng)于2023年10月投入使用;上海臨港約10萬平方米的研發(fā)中心暨總部大樓也即將封頂,未來將進一步提升中微公司的綜合競爭力。