國內(nèi)設(shè)備生產(chǎn)廠家也在一些領(lǐng)域取得了一些突破。北方微電子的ELEDE330系列的干法蝕刻機(jī)在國內(nèi)大約占到了60%的市場(chǎng)份額，而蘇州德龍和深圳大族激光也聯(lián)手搶到了約80%的訂單，而沈陽芯源的直線型和型芯勻膠機(jī)也走進(jìn)了國內(nèi)大多數(shù)芯片廠的生產(chǎn)車間。此外，多加MOCVD廠家開始推出樣機(jī)，并正在從實(shí)驗(yàn)室走向工廠，開始正式轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。

1、      劃片機(jī)

2008年以前我們使用的激光劃片機(jī)只有Newwave、Opto、JPSA，進(jìn)口設(shè)備一統(tǒng)天下，根本沒有國產(chǎn)設(shè)備的身影。而2008年5月份以后，市場(chǎng)上陸續(xù)出現(xiàn)了德龍、大族、華工。在他們幾年地不懈的努力下，到2011年，市場(chǎng)上的主流紫外劃片設(shè)備已基本都是國產(chǎn)設(shè)備的天下。設(shè)備單價(jià)大幅度下降，設(shè)備產(chǎn)能大幅提升。 

                                       近幾年紫外劃片機(jī)市場(chǎng)變化情況

2011年之后，隨著芯片廠對(duì)芯片亮度的不懈追求，傳統(tǒng)紫外切割逐漸顯露出很多不足。隱形劃片機(jī)逐漸走進(jìn)了人們的視野。

深圳大族和蘇州德龍也陸續(xù)推出了隱形切割機(jī)。由于隱形切割專利被日本濱松的掌握。很快，德龍就被專利困住，大族激光乘此機(jī)會(huì)緊急購買日本專利，并迅速進(jìn)入市場(chǎng)。德龍尋求突破口，對(duì)國際專利的壟斷格局，隱形切割設(shè)備的生產(chǎn)和芯片的生產(chǎn)得到了徹底解放。

                                          隱形切割機(jī)市場(chǎng)變化情況

2、      干法蝕刻機(jī)

北方微電子10年開始正式在LED上推干法蝕刻設(shè)備，到2011年開始在新增的刻蝕機(jī)市場(chǎng)上占有一定比例，在12年推出了330的升級(jí)版330plus，在13年又陸續(xù)推出了采用靜電卡盤的330S+、330SGE+。NMC GaN ICP設(shè)備憑借較為先進(jìn)的技術(shù)工藝水平、客戶端的穩(wěn)定運(yùn)行，較快的服務(wù)響應(yīng)時(shí)間，2013年一舉取得超過60%的市場(chǎng)份額。

3、      勻膠顯影設(shè)備

沈陽芯源是勻膠顯影設(shè)備的代表。2009年起，芯源開始投入LED使用的直線型及星型勻膠及顯彰機(jī)的推廣。基于其與臺(tái)灣設(shè)備較優(yōu)惠和價(jià)格及相對(duì)迅速地響應(yīng)時(shí)間，同時(shí)受惠于國家11.5及12.5重大科技專項(xiàng)支持，設(shè)備陸續(xù)在國內(nèi)各大芯片廠家得到使用，到2013年底，LED領(lǐng)域國內(nèi)的客戶份額達(dá)到了60%以上。

4、      MOCVD

2011年以來，國產(chǎn)MOCVD發(fā)展迅速，多家設(shè)備由實(shí)驗(yàn)室開始逐步進(jìn)入實(shí)質(zhì)性的生產(chǎn)。

                                                圓融與MOCVD廠家的合作

中晟光電設(shè)備有限公司是一家較早從事MOCVD設(shè)備研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)。目前和圓融在MOCVD國產(chǎn)化方面展開了合作，在江西圓融有2個(gè)反應(yīng)腔，處于調(diào)試階段，后續(xù)將增加為4個(gè)反應(yīng)腔合一的整體結(jié)構(gòu)。

中晟MOCVD單個(gè)反應(yīng)腔的容量為66片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為5cm，設(shè)備整體設(shè)計(jì)較為精良，操作方便，中文界面，有利于操作人員工作。

目前設(shè)備正處于調(diào)試階段，初步的結(jié)果較理想，正在做進(jìn)一步的調(diào)試研發(fā)。希望未來在維護(hù)周期方面可以延長(zhǎng)，提高設(shè)備的利用率。

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)，主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體集成電路介質(zhì)膜刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備等。目前在江西圓融有2個(gè)MOCVD的反應(yīng)腔，1個(gè)已經(jīng)投入量產(chǎn)，產(chǎn)品性能可以達(dá)到我公司的內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)，性能指標(biāo)與Veeco機(jī)臺(tái)表現(xiàn)接近，另外1個(gè)反應(yīng)腔在調(diào)試過程中，后續(xù)也將增加為4腔。

中微MOCVD單個(gè)反應(yīng)腔的容量為54片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為9cm，維護(hù)周期約為30~40天。

由于是新的設(shè)備，在調(diào)試過程中也發(fā)現(xiàn)了一些可提升的空間，希望在今后可以通過設(shè)計(jì)、部件等方面的優(yōu)化將使設(shè)備更加完善。

5、      其它設(shè)備

其它設(shè)備如研磨機(jī)、清洗機(jī)、甩干機(jī)、蒸鍍機(jī)、裂片機(jī)、點(diǎn)測(cè)機(jī)、分揀機(jī)等，其中雖有部分國產(chǎn)設(shè)備，但七成以上的設(shè)備均為臺(tái)灣或進(jìn)口設(shè)備。如點(diǎn)測(cè)機(jī)分選設(shè)備中電45所及深圳矽電也在積極推進(jìn)，但整體比例國產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)份額不超過10%。

此外這些設(shè)備除研發(fā)資金較高，研發(fā)周期較長(zhǎng)，技術(shù)更新快之外，市場(chǎng)推廣難。國產(chǎn)設(shè)備沒有量產(chǎn)的檢驗(yàn)及反饋后的改進(jìn)，因此在穩(wěn)定性上略有不足，也造成芯片廠家對(duì)國產(chǎn)化設(shè)備信心不足。很多企業(yè)在送樣機(jī)進(jìn)行Demo較為順利，一到批量推廣就面臨重重困難。

6、      圓融使用情況

國產(chǎn)設(shè)備列表

二、設(shè)備國產(chǎn)化前路漫漫

1、 星星之火

（1） 星火燎原之勢(shì)

2003年以來，外延芯片廠家的生產(chǎn)車間基本上都是進(jìn)口設(shè)備，但是隨著國內(nèi)設(shè)備廠家的不懈努力，從最開始的甩干機(jī)、退火爐、清洗臺(tái)、顯微鏡等簡(jiǎn)單設(shè)備到激光切割機(jī)、干法蝕刻機(jī)、勻膠顯影設(shè)備在很多企業(yè)已經(jīng)得到應(yīng)用，服務(wù)于生產(chǎn)中。

（2） 國產(chǎn)設(shè)備出現(xiàn)后的影響力

國產(chǎn)設(shè)備的出現(xiàn)，由于地域的關(guān)系和廠家的服務(wù)態(tài)度，直接導(dǎo)致進(jìn)口設(shè)備廠家的服務(wù)態(tài)度好轉(zhuǎn)、價(jià)格下調(diào)，特別是國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的出現(xiàn)（雖然現(xiàn)在還沒有形成氣候），使得進(jìn)口MOCVD設(shè)備價(jià)格大幅下降，服務(wù)態(tài)度大幅度提升。生產(chǎn)企業(yè)直接受益。

（3） 重大裝備國產(chǎn)化的希望之星

目前國內(nèi)多家企業(yè)已經(jīng)生產(chǎn)出來MOCVD設(shè)備，并且有多家外延芯片企業(yè)正在試用，重大裝備國產(chǎn)化的希望之星已然誕生，正在逐漸形成星火燎原之勢(shì)。

2、 發(fā)展建議

（1）通過整合、合并，提高競(jìng)爭(zhēng)力和抗風(fēng)險(xiǎn)能力

設(shè)備研發(fā)制造，研發(fā)周期長(zhǎng)，技術(shù)更新快，需要持續(xù)投入，對(duì)于中小型企業(yè)來說風(fēng)險(xiǎn)較高。建議相同或相近的設(shè)備制造廠家通過聯(lián)合、并購、重組等各種方式，抱團(tuán)取暖，避免重復(fù)投入，集中優(yōu)勢(shì)資源，提高設(shè)備的性能和競(jìng)爭(zhēng)力。努力做到大而專，避免小而全。

（2）進(jìn)入芯片廠家方式可以多樣化

以合作共同研發(fā)、Demo、融資租賃等方式。

(3)發(fā)揮地域和服務(wù)優(yōu)勢(shì)

國產(chǎn)化不只是要提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備，同時(shí)要提供與之配套的備件、原材料、服務(wù)以及技術(shù)解決方案。深入了解客戶的需求。

（4） 在新的領(lǐng)域突破

擺脫一直跟在國外設(shè)備后面跑的問題，做到先入為主，占領(lǐng)新的制高點(diǎn)。

三、 企業(yè)的心聲

（1） 在前幾年各地政府對(duì)于MOCVD設(shè)備的引進(jìn)給予了相應(yīng)的補(bǔ)貼，使得MOCVD設(shè)備的擁有量大幅度增加。在這種不利的條件下，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備廠家經(jīng)過一段蟄伏期生產(chǎn)出可用于產(chǎn)業(yè)化的MOCVD設(shè)備，并且有企業(yè)正在試用。希望國家相關(guān)部門出臺(tái)政策加以扶持和正確引導(dǎo)，鼓勵(lì)使用國產(chǎn)設(shè)備，其中包括采購費(fèi)用補(bǔ)貼，或稅收減免或采用專項(xiàng)扶持等，盡快實(shí)現(xiàn)重大裝備國產(chǎn)化的目標(biāo)。

（2） 國產(chǎn)設(shè)備特別是MOCVD設(shè)備是LED產(chǎn)業(yè)鏈中的核心高端裝備。研發(fā)投資額耗費(fèi)巨大，若企業(yè)沒有長(zhǎng)期、持續(xù)的投入，很難在短期有立竿見影的經(jīng)濟(jì)效益。國產(chǎn)設(shè)備也是產(chǎn)品，10臺(tái)、50臺(tái)、100臺(tái)甚至更多，希望生產(chǎn)廠家要有充分的思想準(zhǔn)備和經(jīng)濟(jì)實(shí)力以及如何解決長(zhǎng)期投入帶來的投資壓力。

（3） 作為外延芯片企業(yè)愿意和設(shè)備廠家共同努力，推進(jìn)設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程。正是因?yàn)橛辛四銈兊母冻鍪沟眠M(jìn)口設(shè)備廠家放下身段，降低價(jià)格，通過我們的使用促進(jìn)了設(shè)備國產(chǎn)化，形成了正能量的良性循環(huán)。

（4） 最后希望在設(shè)備廠家和使用企業(yè)的共同努力下，在政府相關(guān)部門的支持下，共同推進(jìn)重大裝備國產(chǎn)化的目標(biāo)，讓LED照明全行業(yè)越來越多的國產(chǎn)設(shè)備出現(xiàn)，為行業(yè)發(fā)展做貢獻(xiàn)。（本文系根據(jù)圓融光電總經(jīng)理康建演講報(bào)告整理）